Širitev proizvodnje silicijevega karbida poganja hiter razvoj posebne opreme
Jul 28,2022
Naprave za silicijeve karbide pospešujejo prodor na avtomobilskih in drugih aplikacijskih poljih, kar kaže na velik tržni prostor in privablja različne proizvajalce za povečanje širitve proizvodnje. Potem ko je bila v proizvodnjo postavljena prva 8-palčna linija WolfSpeeda, je bila napovedana tudi Bosch Group, Rohm, Infineon, Toshiba.
V primerjavi s tradicionalnimi proizvodnimi linijami silicijeve rezine postopek proizvodnje silicijevega karbida prinaša različne zahteve po opremi.
Giuseppe Arena, direktor projekta avtomobilskih napajalnih naprav Stmicroelectronics, je dejal, da se zaradi edinstvenih fizikalnih in kemičnih lastnosti materialov s širokimi pasovi proizvodni postopek izdelave silicijevega karbida precej razlikuje od tradicionalnih silicijevih napajalnih naprav v epitaksialni rasti, implantacije ionov, ion in visokotemperaturno žarjenje. Moduli, kot so posebne komore, so zasnovani za nadzor napak in izboljšanje produktivnosti. Potrebna so tudi posebna orodja pri jedkanju, redčenju in drugih povezavah.
Ker postopek in oprema dozori, nekatera podjetja IDM razmišljajo o preoblikovanju zastarele 6-palčne proizvodne linije silicijeve rezine v proizvodno linijo silicijevega karbida. Strokovnjaki v industriji ocenjujejo, da potrebuje le 20 milijonov ameriških dolarjev naložb, da prilagodi postopek in kupi majhno količino posebne opreme. Tovrstno preobrazbo proizvodnih linij je mogoče dokončati.
Trenutno se je na tem področju začela pojavljati oddelek za delo in specializacijo, podjetja, kot je X-FAB, pa so že stopila v poslovanje s silicijevim karbidom.
CLAS-SIC, ki se nahaja na Škotskem v Veliki Britaniji, upravlja s 6-palčno proizvodno linijo livarne Silicon Carbide. 10-15% proizvodne linije je namenska oprema za silicijevo karbide, večina preostale opreme pa je prenova iz proizvodnih linij Silicijeve rezine. Podjetje je odgovorno za Rae Hyndman, industrija Silicon Carbide se tudi pri nakupu rabljene opreme sooča tudi z ozkimi grli za dostavo.
Trg silicijevega karbida je obetaven, prav tako pritegne proizvajalce opreme za povečanje naložb na tem področju. David Haynes, tehnični strokovnjak pri Fanlinu, je dejal, da je skupni izziv, s katerim se sooča oprema, razvita za procese silicijeve rezine pri obdelavi podlag silicijevega karbida, slednji. Skoraj prozoren v vidnih in skoraj infrardečih regijah je treba optimizirati modul za odkrivanje.
Drugi velikan opreme, uporabljeni materiali, je predstavil tudi številne posebne opreme za silicijevo karbide. Njegova oprema CMP, zasnovana za posebne fizikalne in kemijske lastnosti silicijevega karbida, naj bi znatno zmanjšala površinske napake silicijevih karbidnih rezin, pravi Sally Ann Henry, direktorica poslovnega razvoja podjetja Shengmei. Je dejal, da je trenutni trg posebne opreme Silicon Carbide še vedno v zgodnji fazi razvoja, večina IDM pa še vedno deluje 6-palčne proizvodne linije. (Mostična orodja) bodo zelo privlačna. Takšno opremo je mogoče najprej uvesti v 6-palčni proizvodni liniji. Ker je opremljen z najnaprednejšim modulom za zaznavanje, se lahko po zamenjavi modulov za nalaganje, nalaganje in razkladanje hitro prilagodi prihodnji 8-palčni proizvodni liniji. Žica.
V primerjavi s tradicionalnimi proizvodnimi linijami silicijeve rezine postopek proizvodnje silicijevega karbida prinaša različne zahteve po opremi.
Giuseppe Arena, direktor projekta avtomobilskih napajalnih naprav Stmicroelectronics, je dejal, da se zaradi edinstvenih fizikalnih in kemičnih lastnosti materialov s širokimi pasovi proizvodni postopek izdelave silicijevega karbida precej razlikuje od tradicionalnih silicijevih napajalnih naprav v epitaksialni rasti, implantacije ionov, ion in visokotemperaturno žarjenje. Moduli, kot so posebne komore, so zasnovani za nadzor napak in izboljšanje produktivnosti. Potrebna so tudi posebna orodja pri jedkanju, redčenju in drugih povezavah.
Ker postopek in oprema dozori, nekatera podjetja IDM razmišljajo o preoblikovanju zastarele 6-palčne proizvodne linije silicijeve rezine v proizvodno linijo silicijevega karbida. Strokovnjaki v industriji ocenjujejo, da potrebuje le 20 milijonov ameriških dolarjev naložb, da prilagodi postopek in kupi majhno količino posebne opreme. Tovrstno preobrazbo proizvodnih linij je mogoče dokončati.
Trenutno se je na tem področju začela pojavljati oddelek za delo in specializacijo, podjetja, kot je X-FAB, pa so že stopila v poslovanje s silicijevim karbidom.
CLAS-SIC, ki se nahaja na Škotskem v Veliki Britaniji, upravlja s 6-palčno proizvodno linijo livarne Silicon Carbide. 10-15% proizvodne linije je namenska oprema za silicijevo karbide, večina preostale opreme pa je prenova iz proizvodnih linij Silicijeve rezine. Podjetje je odgovorno za Rae Hyndman, industrija Silicon Carbide se tudi pri nakupu rabljene opreme sooča tudi z ozkimi grli za dostavo.
Trg silicijevega karbida je obetaven, prav tako pritegne proizvajalce opreme za povečanje naložb na tem področju. David Haynes, tehnični strokovnjak pri Fanlinu, je dejal, da je skupni izziv, s katerim se sooča oprema, razvita za procese silicijeve rezine pri obdelavi podlag silicijevega karbida, slednji. Skoraj prozoren v vidnih in skoraj infrardečih regijah je treba optimizirati modul za odkrivanje.
Drugi velikan opreme, uporabljeni materiali, je predstavil tudi številne posebne opreme za silicijevo karbide. Njegova oprema CMP, zasnovana za posebne fizikalne in kemijske lastnosti silicijevega karbida, naj bi znatno zmanjšala površinske napake silicijevih karbidnih rezin, pravi Sally Ann Henry, direktorica poslovnega razvoja podjetja Shengmei. Je dejal, da je trenutni trg posebne opreme Silicon Carbide še vedno v zgodnji fazi razvoja, večina IDM pa še vedno deluje 6-palčne proizvodne linije. (Mostična orodja) bodo zelo privlačna. Takšno opremo je mogoče najprej uvesti v 6-palčni proizvodni liniji. Ker je opremljen z najnaprednejšim modulom za zaznavanje, se lahko po zamenjavi modulov za nalaganje, nalaganje in razkladanje hitro prilagodi prihodnji 8-palčni proizvodni liniji. Žica.